真空探針臺是用于半導體晶圓測試的專用設備，通過構建高真空或特定溫控環境實現芯片電參數精確測量。其核心功能為連接測試機與晶圓介質，通過微米級定位系統完成裸芯片電性測試及功能驗證，在集成電路可靠性檢測和失效分析中具有關鍵作用。
該設備由真空腔體、精密定位系統、探針臂組件和環境控制系統構成，可實現-196℃至+675K寬溫域測試。應用領域涵蓋I/C-V測試、RF/PCB測試、光電器件分析等半導體測試全流程，并擴展至超導材料、熱電器件等新型材料研究。
在選購真空探針臺的時候我們需要注意的問題如下：
（1）真空度的要求
（2）測試類型：如直流或高頻
（3）樣品分辨率要求
（4）樣品尺寸
（5）探針操作裝置數量
（6）探針操作精度要求
（7）測試精度：如fA/pA/nA的要求
（8）其它預留接口要求。如光纖接品。
（9）其它組件的配置
