錦正茂高低溫真空探針臺可進行真空環境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動，器件的高頻特性(支持頻率上達67GHz)，探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

高低溫真空探針臺應用于高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

可選附件：

防震桌

多級壓縮制冷機

機械泵/分子泵組/離子泵

射頻部件

各類型頻率真空接頭

各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…

各類探針夾具

Chuck運動裝置

電磁鐵系統/超導磁鐵系統

1Mpa正壓系統

超高溫升級選件

超高真空升級選件