超高真空系統（以金屬密封情況為主）主要是以SS316（或者SS304）材質為主的腔體作為承載，并裝配有不同功能的部件（也都是滿足超高真空低放氣率要求的材料組成）。
真空腔體內表面一般都會經過拋光處理（機械拋光、電化學拋光等手段），以達到表面更加平整、致密的效果；而真空系統暴露大氣（vent）后，不單是腔體內表面，腔體內所有部件都會吸附（adsorb）氣體（大部分是水氣）；如果不進行烘烤（即在室溫條件下），這些吸附的水氣會緩慢地脫附（desorb），這個過程將會持續非常長的時間。
烘烤過程會加速水氣的脫附速度，極大縮短系統進入超高真空（E-10 mbar量級）的時間。

系統在完成安裝（或者破真空恢復后），需在真空好于E-5 mbar的情況下，開始烘烤。
超高真空系統都會安裝有不同的電子部件，烘烤溫度一般設置為120攝氏度（超出水的汽化溫度），烘烤時間會根據系統的復雜程度來設置，一般不少于48小時；烘烤過程中，需要間歇性（例如，每10個小時）對離子規進行放氣處理。
烘烤效果的判斷，一般以期望得到的極限真空的100倍為參照，例如，極限真空為5E-10 mbar，120度烘烤條件下，真空達到2E-8 mbar，即可停止烘烤；如果真空系統較復雜，可以在E-8mbar量級下維持更長的時間。